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SRBZ820C-SMSX

关键字导读: ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS

描述:磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次,SEMI认证S2,F47,迎合个性化设计具有手臂长度、自由度可选,手指及接口用户可定制的特征,耐腐蚀,动态纠偏和碰撞保护功能。

简介

Introduction

采用先进的磁流体密封技术,具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能,有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划,提高运动节拍,提高了用户产能。安全区保护等功能有效地提高了产品的安全等级。在半导体前道高端设备中广泛应用,对设备可靠性要求高。灵活的本地化、可定制化服务,快速响应的售后服务,以及敦实的技术实力,是我们的主要竞争力。推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内设备商的发展。


参数

Parameter

参数:

型号

SRBZ820C-SMSX

密封方式

磁流体密封

自由度数

2

负载

名称

托盘

直径

Φ330mm

重量

1.5kg

最大运动范围

R轴(mm

立柱中心至R轴最大伸展处被搬运物体中心距离820

θ轴(°)

360

全行程最小时间

R轴(s

2.5

θ轴(s

4.8

重复定位精度

θ轴(°)

±0.013σ)

R轴(mm

±0.13σ)

重量

机械手本体

41kg

控制器

15kg

耐真空度(Pa)

5×10-9 Torr

漏率

1×10-9 std.cc/sec He

碰撞保护

盘片和机械手无损伤

行程

820mm

电源范围   电压波动范围

单相交流208V     +10%-15%


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